9月28日晚间，晶瑞股份发布公告称，将开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目。为此，晶瑞股份拟通过Singtest Technology PTE. LTD.进口韩国SK Hynix的ASML光刻机设备，总价款为1102.5万美元（折合7508万人民币）。消息一出，公司股价开盘后快速拉至涨停，公司市值当天也暴增13.39亿元。

值得一提的是，晶瑞股份此次拟购买的光刻机并非市场可生产5nm、7nm芯片的先进EUV光刻机，且后续仍存交货等不确定性因素。

中证报报道，晶瑞股份方面人士表示，现在光刻机设备并不好买，公司并不是直接购买ASML的光刻机设备，而是通过代理商购买存储器芯片厂商SK海力士的一台ASML二手光刻机设备。

据透露，其购买的光刻机类型是ASML的1900型号的光刻机。根据公开报道，ASML的1900型号浸没式光刻机在2007年7月量产发货，可以助力客户将芯片量产制造能力扩展到36.5nm节点。

为促成本次采购，晶瑞于2020年9月8日通过代理商Singtest Technology PTE.LTD.向SK Hynix报价，于2020年9月24日确定中标。

本次合同的顺利履行可以保障集成电路制造用高端光刻胶研发项目关键设备的技术先进性和设备如期到位并投产，对加快项目进度有积极影响，也有利于进一步提升其在光刻胶产品的核心竞争力。

资料显示，晶瑞股份围绕泛半导体材料和新能源材料两个方向，主导产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料、锂电池材料和基础化工材料等，广泛应用于半导体、锂电池、LED、平板显示和光伏太阳能电池等行业，具体应用到下游电子产品生产过程的清洗、光刻、显影、蚀刻、去膜等工艺环节。全资子公司苏州瑞红是国内光刻胶龙头，1993年便开始光刻胶的生产。

至于为什么购买SK海力士的ASML的光刻机，可能是二手的ASML光刻机性价比比较高吧。

值得注意的是，9月29日，晶瑞股份发布可转债预案称，本次拟向不特定对象发行可转换公司债券募集资金总额不超过55,000.00万元（含55,000万元），扣除发行费用后的募集资金净额用于以下项目：

据披露，集成电路制造用高端光刻胶研发项目为由公司牵头发起的超大规模集成电路用高端光刻胶技术攻关及产业化工程的攻关任务之一，旨在通过自主研发，打通ArF光刻胶用树脂的工艺合成路线，完成ArF光刻胶用树脂的中试示范线建设，满足自身ArF光刻胶的性能要求。实现批量生产ArFImmersion光刻胶的成套技术体系并完成产品定型，技术指标和工艺性能满足45～14nm集成电路技术和生产工艺要求。

阳恒化工年产9万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目为江苏阳恒化工有限公司在原厂址区域内，在不增加硫酸总产能和排污总量及污染因子的前提下，通过引进技术装备对原基础化工产品工业用硫酸生产装置进行改造提升，生产部分半导体级高纯硫酸，实现技术改造标准达到国际先进水平，安全、环保、投入产出水平高于原项目水平。本次可转债发行用于本项目第一期投资，第一期产能为30000吨/年。

此外，晶瑞股份拟将募集资金中的16,500.00万元用于补充流动资金或偿还****贷款，以满足公司日常运作资金需要。近年来伴随着公司主营业务的逐步发展，以及募集资金投资项目的建设实施，预计未来几年公司规模将保持一定增长，将需要筹集更多资金来满足流动资金需求。

晶瑞股份表示，本次募集资金投资项目符合国家相关的产业政策以及未来公司整体战略发展方向，对振兴国内半导体材料产业，促进产品升级换代具有重要意义，为公司进一步提升自身竞争优势、强化市场地位奠定基础。本次募集资金的运用合理、可行，符合发行人及全体股东的利益。

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