在这台光刻机中，每秒在真空环境中，从底部容器流出5万滴融化的锡液，一对激光束照射每一滴液体产生等离子体，释放出更短的波长，超高精度的反射镜引导光线....7纳米极紫外线光刻机，分为13个系统，3万个分件，作动时每一分都要精

每台光刻机的装配大约需要50000个零件左右，像德国蔡司的光学设备，美国Cymer的光源都是阿斯麦的上游供应商。阿斯麦创立于1984年，是从飞利浦独立出来的一个半导体设备制造商，，总部位于荷兰费尔德霍芬。

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