1月2日消息，据ASML官网最新声明，其NXT:2050i及NXT:2100i光刻系统的出口许可证已被荷兰政府部分撤销，影响中国大陆部分客户！

美国去年10月17日公布的出口管制新规，对用于一些先进生产设施的某些次关键DUV浸没光刻系统施加了限制。

按照ASML的说法，2023年基本交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单（至于2024年是不是可以继续，ASML之前就表示不能确定。）。

事实上，2023年ASML一直都在向中国客户供应光刻机，其中就包含了NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品，且基本交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单。至于先进的7nm、14nm等先进的EUV光刻机，ASML依然不能给中国客户出售。

据ASML官网提供的信息，该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款，分别是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML预计，目前撤销出口许可证或最新的美国出口管制限制不会对2023年财务前景产生重大影响。ASML还称，在最近与美国政府的讨论中， ASML进一步澄清了美国出口管制法规的范围和影响。

2023年9月1日，ASML在另一份声明中称，其已向荷兰政府提出TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统的出口许可证申请，荷兰政府也已颁发了截至9月1日所需的许可证，允许该公司2023年继续发运相关光刻系统。

在上述声明中，该公司表示：“在新的出口管制条例下，今年（指2023年）年底前ASML仍能履行已签订的合同，发运这些光刻设备。客户也已知悉出口管制条例所带来的限制，即自2024年1月1日起，ASML将基本不会获得向中国客户发运这些设备的出口许可证。”

来源：半导体材料与工艺

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