9月6日,荷兰政府发布了关于两款浸没式 DUV(深紫外光) 光刻机出口的最新许可要求,该规定将于9月7日正式生效。根据更新后的许可要求,并根据美国出口管理条例 734.4.(a).(3),ASML后续需要向荷兰政府而非美国政府申请出口许可,才能出货其 TWINSCAN NXT:1970i 和 1980i DUV 浸没式光刻系统。此前,荷兰的出口管制许可要求已适用于 TWINSCAN NXT:2000i 及后续 DUV 浸没式系统。ASML 的 EUV 系统的销售也需遵守许可要求。对此有网友认为是荷兰升级了对ASML的浸没式DUV光刻机的出口管制。其实不然!众所周知,2023年9月1日,荷兰政府此前于6月底颁布的有关先进半导体设备的额外出口管制的新条例正式生效。这些新的出口管制条例主要针对的对象为先进的芯片制造技术,包括先进的沉积设备和浸没式光刻系统。这也使得ASML无法向中国大陆出口NXT:2000i及以上浸没式DUV设备。
由于ASML此前所获得的荷兰政府的许可,允许其在2024年1月1日之前能够继续向中国大陆出口。但是ASML此前发布的声明显示,荷兰政府在在当地时间2024年1月1日之前已经部分吊销了2023年发货NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统的许可证,影响到了少数中国客户。随着2024年1月1日,之前的许可证的到期,ASML已经无法继续向中国大陆出口相关受限设备了。并且,后续也无法获得新的许可。
ASML首席财务官Roger Dassen当时就表示,“对于出口管制,荷兰和美国最新颁布的出口管制法规已经生效。在政府与我们的后续沟通中,对其出口管制的适用范围和影响进行了进一步澄清。可以预计的是,2024年我们将不会获得向中国大陆发运NXT:2000i及以上浸润式设备的出口许可证。”此外,Roger Dassen还进一步指出,“个别中国先进芯片制造晶圆厂将无法获得发运NXT:1970i 和 NXT:1980i 浸没式DUV设备的许可证。”而这主要是由于美国的出口管制政策,而非荷兰的出口管制政策。
荷兰政府这次最新宣布的针对ASML NXT:1970i 和 1980i DUV 浸没式光刻系统的出口管制实际是将这两款设备的出口管制权从美国政府那边拿了过来,也就是说后续这两款设备的出口许可证的发放将由荷兰政府来决定。显然这对于ASML来说是一件好事,毕竟荷兰政府自然是会比美国政府更偏向于关注本国关键企业的利益。对此,ASML官方也发布声明表示,认为这一新规主要是协调颁发出口许可证的方式,即由美国政府发放许可变更为由荷兰政府发放许可。ASML在声明中指出,由于这是技术性调整,因此预计不会对公司2024年的财务前景,或在2022年11月投资者日传达的长期情景产生任何影响。来源:芯智讯
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